Der Druck im Ofen kann in einem Industrieofen unter den atmosphärischen Druck abgesaugt werden. Vakuumöfen verwenden elektrische Heizung und die Oberfläche des erhitzten Werkstücks oxidiert nicht, entkohlt nicht, verformt sich weniger und weist gute mechanische Eigenschaften auf. Das Schmelzen von Metall in einem Vakuumofen ist vorteilhaft für die Entfernung von Verunreinigungen, was zu weniger Nadellöchern, weniger Entmischung und einer besseren Qualität des Endprodukts führt. Vakuumöfen eignen sich zum Schmelzen und Erhitzen von hochwertigen, hochreinen und feuerfesten Metallen wie Wolfram, Molybdän, Tantal, Niob, Titan, hitzebeständigem legiertem Stahl zum Schmelzen und magnetischen Materialien, elektrischen Materialien, hochfestem Stahl, Edelstahl, Werkzeugstahl, Formstahl usw.
Vakuumöfen kamen etwa in den 1930er Jahren auf. 1927 produzierten die USA einen Vakuumglühofen für Elektromaterialien. 1953 wurde in der Industrie ein Vakuum-Verzehrlichtbogenofen zum Schmelzen von Titanschwamm eingesetzt. Vakuum-Induktionsöfen waren etwa in den 1950er Jahren in der Industrie weit verbreitet. 1960 entwickelten die USA einen Vakuumofen mit Ölabschreckung.
Ein Vakuumofen besteht im Allgemeinen aus einem Ofen, einer elektrischen Heizvorrichtung, einem abgedichteten Ofenmantel, einem Vakuumsystem, einem Stromversorgungssystem und einem Temperaturkontrollsystem. Der abgedichtete Ofenmantel ist mit Kohlenstoffstahl oder Edelstahl verschweißt, und die Verbindungsfläche abnehmbarer Komponenten ist mit Vakuumdichtungsmaterial abgedichtet. Um eine Verformung des Ofenmantels und eine Verschlechterung des Dichtungsmaterials nach dem Erhitzen zu verhindern, wird der Ofenmantel im Allgemeinen durch Wasser- oder Luftkühlung gekühlt. Der Ofen befindet sich in einem abgedichteten Ofenmantel. Je nach Verwendungszweck des Ofens werden im Ofen verschiedene Arten von Heizelementen installiert, wie Widerstände, Induktionsspulen, Elektroden und Elektronenkanonen. Der Vakuumofen zum Schmelzen von Metallen ist mit Tiegeln im Ofen ausgestattet, und einige sind auch mit automatischen Gießvorrichtungen und mechanischen Armen zum Laden und Entladen von Materialien ausgestattet. Das Vakuumsystem besteht hauptsächlich aus einer Vakuumpumpe, einem Vakuumventil und einem Vakuummeter.
Vakuumöfen werden je nach Heizelementen in Vakuum-Widerstandsöfen, Vakuum-Induktionsöfen, Vakuum-Lichtbogenöfen, Vakuum-Verzehrlichtbogenöfen, Elektronenstrahlöfen (auch Elektronenbeschussöfen genannt) und Plasmaöfen unterteilt.